技术编号：9685488
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在信息技术不断推动现代工业高速发展的背景下，MEMS传感器备受关注，特别是MEMS压力传感器已被广泛应用于工业生产、航空航天、电力石化等各行各业。目前扩散硅压力传感器仍是市场销量最大的压力传感器，但这种压阻式传感器的工作温度范围一般不超过120°C，这是因为扩散硅压力传感器的应变电阻是以pn结作为隔离层实现其与衬底的电绝缘。而当工作温度超过120°C时，硅材料由于本征激发，其pn结的反向漏电流迅速增大，所以一般不能在高于120°C的环境下进行压力测量。而在...
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