技术编号：9685497
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微小力标定与测量，具体涉及。技术背景微小力测试测量技术被广泛地应用于生物医学、纳米材料和MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微电子机械系统)等多个领域。比如在MEMS器件的应用中，随着器件尺寸的减小，表面效应显著，表面力对器件之间的相对运动影响明显，这就需要对微弱的表面力进行表征。另外，摩擦作用广泛存在于宏观和微观尺度的相互接触且有相对运动或相对运动趋势的物体之间，微纳尺度的摩擦行为的表征对于揭示摩擦机理意义...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。