技术编号:9685769
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。极紫外光刻(ExtremeUltrav1let Lithography,EUVL)技术是使用EUV波段,主要是13.5nm波段,进行光刻的微纳加工技术。目前,EUVL技术已经能够实现7nm线宽的刻蚀工艺,并具备进一步缩小刻蚀线宽的可能性。这在大规模集成电路制造领域具有重要意义,能够实现更大密度的元件集成,以及更低的能耗。极紫外光刻使用波长为10-14nm光源照明,由于几乎所有已知光学材料在这一波段都具有强吸收,因此极紫外光刻机需要在真空环境下工作。在极紫外...
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