技术编号:9686053
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 目前,在纳米研究领域,微纳操作的自动化可W去除人为因素的扰动,对于重复操 作的任务,自动操作与人工操作相比精度显著提高,因此自动纳米操作技术受到越来越广 泛的关注和研究,故高精度的轨迹规划及跟踪方法为纳米操作自动控制的实现提供了必要 条件。发明内容 本发明为了解决在纳米研究领域,自动纳米操作控制系统操作时轨迹规划及跟踪 精度低的问题,提出了SEM下微纳操作的探针轨迹规划及跟踪方法。 SEM下微纳操作的探针轨迹规划及跟踪方法包括W下步骤 步骤一、采用Att...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。