技术编号：9689071
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。真空电子发射有多种形式，比如热电子发射，场致电子发射，光致电子发射等。电子源在X射线源，平板显示，电子显微镜，离子推进器等各种真空电子器件中有着非常重要的应用。这些器件对于电子源性能的要求取决于具体应用情况。总体来说，要求电子源所发射的电子束要具有电流大、效率高、稳定性高、电子发散角小等。Μ頂(金属-绝缘体-金属)或者MISM(金属-绝缘体-半导体-金属)电子源是一种具有三层(或者四层)结构的表面发射型电子源，其中绝缘层(或者绝缘层/半导体层)被夹在上下两...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。