低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法技术资料下载

技术编号:9689189

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随着半导体技术的发展,视频产品,特别是数字化的视频或影像装置已经成为在一般日常生活中所常见的产品。这些数字化的视频或影像装置中,显示器是一个重要组件,以显示相关信息。而低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)可应用于液晶显示器的驱动组件,使得此项产品成为显示器的主流,于个人计算器、游戏机、监视器等市场成为未来主导性产品Ο在低温多晶硅组件制作过程中,多晶硅(polysilicon)层与栅极之间设有一栅极绝缘层,由于是以化学气相沉积法形成所述栅极绝缘层,造成所...
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