技术编号：9689218
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在集成电路的制造中，卧式常压炉管广泛应用于当前国内6 "集成电路生产线。常压炉管是一种在高温环境下对硅晶片进行扩散、氧化或退火工艺的设备，生产过程气体流量、温度、持续时间等条件将直接影响到产品的良率，这些条件的变化超过规定值将会导致产品的最终相关参数超出设计范围而报废。正常情况下，炉管工艺程序里已设定了气体流量、温度及工艺时间等详细参数，包括相应参数实际偏差值较大时会有提示报警功能，但运行过程中，由于设备变型、磨损、等不确定因素影响，空气会从炉管进气接口端...
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