技术编号:9689223
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子加工,具体涉及一种等离子体加工设备。背景技术在集成电路制造、太阳能光伏、半导体照明等,等离子体加工设备是应用较广泛的设备之一。在实际应用中,电感耦合等离子体加工设备借助在较低的工作气压下即可获得高密度的等离子体、结构简单、成本较低以及可对产生等离子体的射频源和控制等离子体能量的射频源进行独立控制等优点,目前被广泛地应用。图形化蓝宝石衬底(Patterned Sapphire Substrate,以下简称PSS)是目前较为主流的提高LED器件...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。