技术编号:9689235
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在集成电路的生产制造中,每一个晶圆从原料最终形成产品都需要经过成百乃至上千道工序,晶圆所经过的所有工序组成了工艺流程。在正常情况下,晶片按照预先设定好的工艺流程一步一步地执行每一道工序,也就是说,预先设定好了工艺流程中每一道工序的内容,每一道工序的内容还包括具体的工艺参数,还预先设定好了每一道工序执行的时间顺序,工艺流程驱动引擎根据预先设定好的工艺流程,控制晶片依次执行每一道工序。随着半导体技术的发展,半导体企业都会利用软件控制系统来达到使半导体生产设备生...
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