技术编号:9689244
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。晶圆作为一种常用的半导体材料,在其制造过程中,实现晶圆的自动取、放和自动传输是一项关键技术。现有的生产设备中,常见的晶圆抓取装置主要是采用真空吸盘吸附式进行晶圆抓取。现有技术中的晶圆抓取装置通过检测抓取过程中装置真空度的变化,判断是否抓取到晶圆,很容易产生误判断。另外,当没有放置晶圆的时候,该装置依然进行吸附抓取动作,必然会造成了真空泄露,从而引起整个系统真空度的下降,进而影响设备的可靠性。发明内容为了克服现有技术中晶圆抓取装置容易产生误判断和真空度下降的...
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