技术编号：9689249
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。薄膜电路是将整个电路的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件以及它们之间的互连引线，全部用厚度在微米级以下的金属、半导体、金属氧化物、多种金属混合相、合金或绝缘介质薄膜，并通过真空蒸发、溅射和电镀等工艺制成的集成电路。而目前，薄膜电路在工艺制作上均处于平面上，即只能开发和制作出平面薄膜电路；列如，在公告号为CN103579107A的中国专利《一种基于掩膜电镀的薄膜电路划切方法》中，其制作出平面薄膜电路制作方法还停留于雕刻式的划切工艺方法，其只能应用于平面薄...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。