技术编号:9689449
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体,尤其涉及。背景技术薄膜晶体管显示器是目前使用比较广泛的显示器,其中,薄膜晶体管是开启和关闭像素的电子转化装置,通过在玻璃基底上沉积薄膜,从而形成电子回路来控制显示器中的像素。常用薄膜晶体管的结构中,包含有三端,即源极、漏极和栅极,通过利用施加在栅极的电压来控制源、漏极间的电压。在薄膜晶体管中通常使用铝作为电极材料,但是铝互连线的抗电迀移能力较差,且铝的电阻率也较大(约为2.66?Ω.cm),因此在制作铝线时,铝线的宽度不能太小,否则会容易...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。