技术编号:9689477
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种采用单肖特基结构的氧化锌紫外雪崩探测器,属于光电探测。背景技术紫外探测技术是继红外和激光探测技术之后发展起来的又一军民两用的光电探测技术。因此,开展紫外探测器的研究对于国防安全和国民经济建设均具有重要的意义。近年来,宽禁带半导体紫外探测器因其体积小、重量轻、工作时不需滤光片及无需制冷等优点被认为是可以取代真空光电倍增管和Si光电倍增管的第三代紫外探测器。在众多宽禁带半导体材料中,ZnO材料因其具有抗辐射能力强、饱和漂移速率高、击穿电压高以及生...
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