技术编号：9691480
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。米用微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)工艺的 MEMS 麦克风由于其小型化和轻薄化的特点，逐渐取代了传统的麦克风。参照图1、图2，现有的一种MEMS麦克风包括基底1，基底1具有正面S1和背面S2，基底1具有贯穿正面S1和背面S2的背腔11 ;位于基底1正面S1的膜片2，膜片2覆盖背腔11 ;位于膜片2上的支撑部3、和横亘在支撑部3上的导电极板4，导电极板4与膜片2之间具有间隙5，该间隙5对应背腔11的位置...
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