用于力检测的压力传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9693008

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本发明涉及一种用于利用由压电的材料制成的压力传感器来测量力的方法、装置以及用途。背景技术现有技术是,通过受感应的电荷来确定力,如这例如在石英力测量计和压电传感器中为这样的情况。对此对于测量技术上的评估而言电荷放大器是必要的。发明内容本发明的任务在于,如此改进根据权利要求1的前序部分的方法,即使得对于测量而言不需要电荷放大器并且由此使测量系统总体上小型化。根据本发明该任务由权利要求1的特征解决。通过使用压力传感器的电容的变化以用于力测量,使得对于测量而言不需...
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