技术编号：9693100
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种焦点调节方法及其装置，例如，涉及一种在对安装有电气.电子部件的基板进行涂布或检查等的作业之前被执行的在进行用于位置偏移或倾斜修正的基准位置教示时所使用的焦点调节方法及其装置。背景技术在对安装有电气.电子部件的基板进行涂布或检查等的作业时，需要在处理前进行称为对准的操作。在此所谓的对准，是指对载置于作业装置的工件台的基板的自基准位置起的偏移进行测量，且对该偏移进行修正的操作。为了进行对准，需要设定作为基准的特征点及其位置。对于作为基准的特征点而...
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