技术编号：9693132
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 光刻设备是一种将所需图案应用到衬底上，通常是衬底的目标部分上的机器。例 如，可W将光刻设备用在集成电路（ICs)的制造中。在运种情况下，可W将可选地称为掩模 或掩模版的图案形成装置用于生成待形成在所述1C的单层上的电路图案。可W将该图案转 移到衬底(例如，娃晶片)上的目标部分(例如，包括一部分管忍、一个或多个管忍)上。所述 图案的转移通常是通过将图案成像到提供到衬底上的福射敏感材料(抗蚀剂)层上。通常， 单个衬底将包含连续形成图案的相邻目标部分的网络。公...
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