一种烧结制备钼板坯的方法技术资料下载

技术编号:9698582

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生产LED显示屏、太阳能薄膜过程中,钼材料常用做磁控溅射靶材使用。因此,要求作为靶材使用的钼材料具有高纯度和显微组织均匀的特点,而钼靶材的性能处理受加工过程的影响,生产原料的钼板坯的纯度和组织均匀性就显得尤为重要。作为靶材的重要原材料,钼板坯一般采用粉末冶金法制备,主要步骤为粉末预处理、冷等静压压制、氢气烧结。现有钼板坯的制备方法主要存在以下几个问题采用细颗粒钼粉制备大单重板坯时,由于钼粉容易团聚导致流动性差和松装密度偏低,因此在装粉过程中粉末间易产生“搭...
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