技术编号:9698594
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 高新技术的飞速发展,对舒(Ru)及Ru基合金材料的性能提出推来越高的要求。韦了 粉的制备是发展钌工业技术的首要环节,满足一些特殊用途的高纯球形钌粉制备技术还存 在问题。 纯钌和钌基合金材料在电子产品的制造中作为靶材被广泛应用,而靶材通常要求 材料自身杂质含量低、组织成分和晶粒尺寸均匀且致密度高。熔炼法是靶材制作的常用方 法,尽管熔炼法能控制靶材的纯度,但组织均匀性较差,且靶材晶粒粗大,同时,由于室温条 件下Ru靶的加工性较差,熔炼法制得的靶材后续机加工较...
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