技术编号：9698806
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及激光加工，具体涉及一种基于摆角压缩的精密激光加工装 置。背景技术 激光微加工日新月异，激光光源、外光路、视觉定位、振镜、线性运动平台等配套资 源越来越完善。在微加工光束空间控制方面，线性运动平台可以高精度运动，但是由于惯性 很大，运动范围很小，运动速度与加速度上不去，振镜有很快的光束扫描能力，但是，振镜在 进行精细扫描的时候，例如进行50微米以下的扫描运动的时候，为了保障扫描的精度，扫描 频率就上不去，目前最高扫描速度CPS不超过125，即采用...
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