一种芯片的封装方法技术资料下载

技术编号:9701149

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本发明属于微全分析系统(y_TASMicro Total Analysis System),涉及。背景技术微流控芯片是通过微加工、精密注塑、传统机械加工等技术,在数平方厘米的基片上,制作微通道、微栗、微阀、微储液器等结构及其他功能单元,实现集微量样品制备、进样、反应、分离及检测于一体的快速、高效、低耗的微型全分析系统。微流控芯片加工材料包括各种玻璃、金属、硅片、聚合物材料等。因价格便宜、成形容易及批量生产成本低的优点,聚合物材料诸如聚二甲基硅氧烷(PDMS...
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