技术编号：9701736
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 六氟乙烷是一种重要的化工产品，主要用于集成电路蚀刻和清洗、制冷、高介电强 度冷却等。目前制备六氟乙烷的方法有如下几种 (1)专利CN00118734.1中，二氟化钴与氟气体接触反应，活化成三氟化钴，在300~ 350°C下通过活化的三氟化钴催化剂将氢氟乙烷转化成全氟乙烷； (2)专利CN1165803A中，高温下氟气在稀释剂的存在下与两个碳原子的碳氟氢化 合物反应； (3)专利CN1651370中，在氟化催化剂的存在下，六氟乙烷和氯三氟甲烷的混合气 体与...
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