技术编号:9703404
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。抗反射(AR)涂层一般应用到透镜或窗口的表面,以减少入射到表面的光的反射,这种反射会造成刺眼的强光。通常,AR涂层是利用沉积技术,诸如溅射沉积、化学气相沉积(CVD)和等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)过程,涂覆到表面的薄膜结构。在一些情况下,AR涂层包括多层交替的薄膜,这些层提供具有不同折射率的材料并且改进AR涂层的抗反射质量。在一些应用中,透镜或窗口的表面具有三维几何形状,这使得涂均匀厚度的AR涂层很困难。在一些应用中,CVD过程可以提供保形地涂...
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