技术编号：9703431
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着半导体发光芯片发光效率的提升和制造成本的下降，半导体发光芯片已被广泛应用于背光、显示和照明等领域。M0CVD是适合生长半导体照明用LED材料外延片的良好技术，也是一种工业化的经济实用技术，其生长原理是在一块加热适当温度的衬底上，含有m和V族元素的气态化合物有控制的输送到衬底表面，生长出有特定组分、特定厚度、特定电学和光学参数的薄膜沉积材料。可见，反应腔是装个M0CVD设备最核心的部分，也是LED生长整个过程的环境保证。在整个过程中，反应腔需要提供真空超...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。