技术编号:9703433
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。采用惰性气体隔离空气,使含碳气体在高频偏压电场作用下发生等离子体化学气相沉积反应,生成类金刚石(英文简称DLC)的技术设计的非真空DLC塑料容器生产装置,属于等离子体化学气相沉积。2、背景技术在高频电场作用下,含碳气体会发生电离反应并形成等离子体,带正电荷的碳原子在偏压电场作用下向偏压负极移动聚集,并与氢气发生还原反应,生成由碳原子构成的类金刚石沉积在高频偏压电场负极一侧。如果在高频偏压电场中存在空气,会不利于类金刚石的沉积,所以等离子体化学气相沉积类金刚...
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