技术编号：9706170
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着微电子技术、宇航、生物工程等学科的发展，对精密机械和仪器的制作精度要求越来越高，其中物体的微位移是一项重要的检测指标。现用测量微位移的装置常用的是一种是利用光杠杆拉伸法，但这种装置具有以下缺陷光学调节比较复杂，器材较庞大，读数装置与测量装置间隔为I至2米，实验时需来回走动，操作困难;采用普通刻度尺读数，误差较大，测量结果不够精确等。迈克尔逊干涉仪是光学干涉仪较常见的一种，其原理是一束入射激光被分为两束，其中一束经一定相位延迟后与另一束发生干涉现象，形成...
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