技术编号:9706999
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明电流传感器背景本文描述的本申请的实施方案涉及电流传感器,且更具体地说,涉及用于测量RF电力信号的电压和电流的电压-电流传感器(VI传感器)。具有包围RF负载的圆柱形探头的电流传感器被已知作为用于测量流入RF负载的RF电力的电流的电流传感器。具有匹配方向性的电压-电流探头在1999年9月27日提交的公开号为1999-0072975的韩国专利中公开。最近,因为用于生产半导体器件和平板显示器件的工艺变得越来越精细和复杂,所以RF电源需要更复杂地控制。然而...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。