技术编号：9707565
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。中存在的问题，本发明的目的在于提供一种，具备了对浸没液体流量调控功能的同时，保证了温控功能不因通流流量变化而导致效果不稳，增加了压力跟随限制的功能。为了达到上述目的，本发明采用的技术方案如下一、一种浸没式光刻兼容温控的分流控制和压力跟随装置包括主路通道，主路通道包括依次连接的纯化浸没液体入口、减压阀、流量调节单元(IFC)、压力变送器和热交换器，浸没液体从纯化浸没液体入口进入装置，依次通过上述主路通道各项装置，通过减压阀和压力变送器的调控和反馈实现对浸液压...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。