技术编号:9708867
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在半导体制造中,设备的工艺方案(Recipe)是一组决定设备工艺(Process)的一组指令,包括相关参数的设定,同时也包括工艺方案本身的相关信息,比如工艺方案的编辑者(Editor),最后修改时间等。由于生产工艺和过程及其复杂,每个设备因工艺差异,工艺方案众多且设定各不相同;而同型设备为了减少工艺偏差(Process Variat1n),又需要相同工艺方案之间的设定彼此匹配(Matching)。由于设备工艺方案的参数(Parameter)设定及改动都非常...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
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