技术编号:9709830
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在集成电路的制备过程中,晶圆测试是必不可少的一个过程。图1为晶圆测试系统(CircuitProbing,CP)的典型结构。探针台(Prober)是实现晶圆测试的关键设备,它承载晶圆并根据每个独立的管芯(Die)的大小作为步长做周期移动,保证每个待测管芯都能和探针卡良好接触。传统的晶圆测试探针台在测试过程中,所有的数据如产品名称、产品批次等均需要通过键盘面板人工手动进行输入,速度慢使得测试效率较低,且容易出错。发明内容基于此,有必要针对上述问题,提供一种测试...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。