技术编号:9709874
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在目前的半导体产业中,集成电路产品主要可分为三大类型模拟电路、数字电路和数/模混合电路,其中存储器件是数字电路中的一个重要类型。近年来,在存储器件中,闪存的发展尤为迅速。闪存的主要特点是在不加电的情况下能长期保持存储的信息;且具有集成度高、存取速度快、易于擦除和重写等优点,因而在微机、自动化控制等多项领域得到了广泛的应用。请参考图1,图1为制备分栅快闪存储器浮栅时的剖面示意图,包括衬底10、形成在衬底10上的耦合氧化层11、形成在耦合氧化层11上的浮栅层2...
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