技术编号:9712808
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种机械臂,尤其涉及一种具备防止由设置于内部的驱动部产生的微粒(part i c 1 e )向外部流出的防尘机构的机械臂。背景技术以往,已知有搬送基板的基板搬送机械臂装置(例如参照专利文献1)。该基板搬送机械臂装置具有具有沿着垂直方向延伸的开口的中空的垂直壳体;容纳于垂直壳体的内部的垂直轴移动机构;藉由垂直轴移动机构于垂直方向上往返移动的水平壳体;水平壳体的上方的密封膜;以及垂直壳体的下方的密封膜。水平壳体与垂直轴移动机构连接,且具有贯通开口的中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。