技术编号：9713468
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利说明光学部件相关申请的交叉引用德国专利申请102013213842.3的内容通过引用并入本文。本发明涉及一种光学部件。本发明还涉及一种包括这种部件的光学组合装置。此夕卜，本发明涉及一种投射曝光设备的照明光学单元和照明系统以及一种包括这种光学组合装置的投射曝光设备。最后，本发明涉及一种制造微结构或纳米结构部件的方法。背景技术当使用光学部件时，它们在光路中的布置具有很大的重要性。在该情况下，可区分在光路方向上的定位和垂直于光路的位置。取决于应用，这些位置中...
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