技术编号：9713726
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。计量学目标经设计以实现参数的测量，所述参数指示晶片制作步骤的质量及量化晶片上的结构的设计与实施方案之间的对应性。遍及晶片场制作计量学目标且来自目标的测量结果分析产生跨越晶片的计量学参数的估计。发明内容本发明的一个方面提供一种方法，其包括通过选择所测量的目标的子集η以代表复数Ν个目标的参数测量的分布而减小计量学参数的样本大小及测量持续时间，其中通过对来自分布的选定数目的分位数中的每一者的实质上相等数目的测量进行取样而选择子集η(其中η〈〈Ν)。在下文详细描述...
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