技术编号:9718706
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。晶锭切割装置主要是以线锯(wire saw)切割晶锭,以将晶锭切成多个薄片状的晶圆。线锯在两个以适当间隔设置的滚轮上缠绕多圈而达成复线式线锯切割,在切割晶锭的过程中,线锯受到晶锭下压力而抵销线锯的切削力后,使得线锯弯曲的现象称为弓形(bow size)。当弓形因晶锭下压而变大时,线锯的切削力被减弱而明显不足,因而影响到切片(例如晶圆)的品质。因此,如何在不变更既有切割装置的情况下,减少弓形并增加线锯的切削力,以提高切片的品质,实为当前所要解决的课题。发明内...
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