技术编号:9720057
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。多晶硅生产系统都涉及三氯氢硅生产过程,即直接氯化生产三氯氢硅(硅粉与氯化氢反应)和氢氯化生产三氯氢硅(四氯化硅、氢气和硅粉反应)两种工艺,两种三氯氢硅生产工艺最终均会得到渣浆,渣浆中富含金属氯化物、大量的氯硅烷和固体物质,剩余渣浆由于渣浆中含有大量的氯硅烷,用碱液中和它,不仅造成极大浪费,而且还会会污染环境,而且还会造成极大的浪费,这就涉及到富含金属氯化物的渣浆的处理工序。现有技术中,三氯氢硅生产得到的渣浆常用的处理方法都是先将渣浆进行高温蒸发,使渣浆中的...
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