技术编号：9723159
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。AZO薄膜是一种透明导电薄膜，在适当的掺杂浓度下，表现出良好的透明导电特性，被认为是最有可能替代ITO薄膜的材料。近年来，以柔性有机聚合物为衬底代替传统的玻璃基片制备AZO透明导电薄膜，具有质量轻、可折叠、不易碎、便于运输、费用低廉以及易于大面积生产等优点，在光电子器件、液晶显示、太阳能电池及电磁屏蔽等领域具有广阔的应用前景。但是，采用传统的磁控溅射装置进行AZO薄膜的制备时，基片衬底与靶材相对设置，在溅射时，靶材上的高能粒子会对沉积薄膜产生离子损伤，并且...
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