技术编号:9723176
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)是当前薄膜太阳能电池的关键制备技术之一,如何实现大面积沉膜的均匀性,提高薄膜电池的效率及稳定性,是PECVD未来发展的重要方向,而大面积电容耦合PECVD影响沉膜均匀性的关键因素是电场、温度场和流体场。随着技术发展,对产品的效率要求越来越高,出现了超大产能的PECVD设备,设备产能加大及石英管内部体积变大,所以电场、温度场和流体场都会更难保证稳定。图1是现有技术中一种产生电场的电极装置。如图1所示,通入石英管内部的正...
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