技术编号:9723343
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 单晶硅的规格一般有两种Ml型(205mm)和M2型(210mm),单晶硅生产过程包括以 下工序拆炉-装料-熔化料-引细颈-放肩-转肩-等径-收尾-停炉。其中,放肩是当引细颈工 艺完成后经过调整单晶炉加热功率及温效输出,降低温度与拉速,来控制放肩质量、速度、 形状。放肩的形状和角度,将会影响晶棒头部的固液界面形状及晶棒品质。如果降温太快, 液面呈现过冷情况,肩的形状因直径快速放大而变成方形,严重时易导致位错的产生而失 去单晶的结构。M2型单晶硅棒的放肩工艺...
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