真空泵系统的制作方法技术资料下载

技术编号:9724401

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真空栗系统包括例如至少一个主真空栗以及至少一个辅助栗。主真空栗可以是干压缩真空栗比如螺杆型真空栗。主真空栗的出口与用于支持的辅助栗连接。膜栗或喷射栗经常用作辅助栗。在这样的真空栗系统中,辅助栗的排出容积明显低于主真空栗的排出容积。特别地,辅助真空栗的排出容积小于主真空栗的排出容积的1/50。通过使用这样的辅助栗,能够实现较低的端压力。使用这样的辅助栗还允许降低整个系统的能量消耗,其中,辅助栗本身具有由此需要额外的能量的劣势。具体地,如果辅助栗比如喷射栗连续...
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