光学检测装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9726222

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线扫描光学检测设备一般包含明场检测系统、暗场检测系统或背光检测系统,分别用于不同缺陷的检查。各系统使用的光源不同,对待测物进行检测时一般只能使用一种检测系统,以避免其他光源系统的成像干扰,造成相关缺陷不能有效检出。例如,有些缺陷在明场照明系统时可以显现,但若同时打开背光照明系统就不能显现。如果要全面检出物体各种表面缺陷,一般常采用多次不同的照明系统分开进行检测。现有的线扫描光学检测设备在进行待测物表面缺陷检查时耗时较久,设计空间需求更大,成本也更高。发明内...
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