技术编号：9726225
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 很多精密元器件都需要极高的均匀性或形状的规则性作为其本身性能的保证，比 如平板玻璃、侣反射镜、光栅等。平板玻璃作为重要的光学零件，其自身的平面度将影响着 光学系统的光轴方向进而影响成像质量;侣反射镜是在光学平板上真空锻膜形成的，其反 射效率与平面度直接相关，另外平面度还关乎图像是否失真、是否出现重影。 针对运些透明的光学精密元件，传统的光学检测有较好的适用方法，像检测平板 玻璃有浮法玻璃带缺陷检测器等。此外，有很多非透明的物件需要检测其缺陷，比如透射光 ...
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