技术编号：9726556
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利说明相关专利申请的交叉参考本发明是美国专利申请号为61/998,504，申请日为2014年6月30日的非临时专利申请，并要求其优先权，此处其整体被引入用于参考。本发明涉及光电器件，尤其涉及。背景技术近年来，由于硅基调制器具有易集成、低功耗、CMOS工艺兼容性及相对更小尺寸的特性而引起大量关注。这些优势是减少用于长距离和地铁通信的光收发器模块的封装和功耗的关键。在一种方法中，基于光电效应的基于M0S结构娃基调制器的娃基调制器可实现尚速调制。有源区可具有5...
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