技术编号:9728893
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明设及将氧化物半导体用于沟道的电子设备及其制造方法和其制造装置。背景技术 近年来,为了实现液晶显示器的高精细、大型化、高速响应性,需求高迁移率的薄 膜晶体管灯FT Thin Film Transistor)。另外,为了实现更高亮度且高对比度的显示器、 薄型化的移动终端、柔性显示器,进行了有机化巧lectroluminescence)元件的利用。有机 化元件是利用TFT驱动的电流驱动型的元件,为了发挥充分的发光性能,即使在用于驱动 有机化元件的TFT中...
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