技术编号：9731859
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在专利文献1中记载了一种实施了微机械加工的干涉仪。该干涉仪具有分束器(beam splitter)、静电致动器、利用静电致动器而能够移动的可动镜、以及固定镜等的光学部件。此外，在专利文献1中记载了这样的干涉仪的制造方法。在该制造方法中，通过对SOI晶片的硅层进行蚀刻，从而在绝缘层上形成作为各光学部件的部分。此外，在该制造方法中，通过使用了荫罩掩模(shadow mask)的溅射，对作为可动镜或固定镜的部分选择性地实施金属覆盖。现有技术文献专利文献专利文献1...
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