技术编号：9732231
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，例如涉及为栅极绝缘膜包含有强介电体的层叠结构的半导体晶体管等。背景技术在栅极绝缘膜中使用强介电体的晶体管由于数据的存储、数据的读取、写入都是以一个晶体管来进行，所以作为新一代的高集成存储器而倍受期待。该晶体管对应强介电体的电极化方向来控制晶体管的电传导。具有导体、强介电体、半导体的MFS (Me ta 1 -Ferroelectrics-Semiconductor，金属-铁电体-半导体)层叠结构的MFS晶体管是原型，但近年来为了不损及半导体与强...
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