一种多晶硅晶圆炉内碳素保温毡表面除磷的方法技术资料下载

技术编号:9740951

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随着能源的短缺和人们环保意识的加强,近几年太阳能电池及光伏产业得到快速发展。商业化太阳能电池中硅基材料占90%以上,硅材料的纯度直接关系到电池的转换效率和寿命,硅材料的成本直接影响到电池组件的成本,因此,众多科研人员正在研制低成本、低污染、低能耗生产高纯硅的技术。磷(P)是影响太阳能级以及电子级多晶硅电学性能的最主要杂质之一,P杂质由于其分凝系数大(k=0.35),因此无法用定向凝固法有效去除。但由于P杂质的饱和蒸汽压大,在I 700 K时(略高于硅的熔点...
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