技术编号:9741777
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。氮化铝(AlN)是一种综合性能优良新型陶瓷材料,具有优良的热传导性,可靠的电绝缘性,低的介电常数和介电损耗,无毒以及与硅相匹配的热膨胀系数等一系列优良特性,被认为是新一代高集程度半导体基片和电子器件封装的理想材料,受到了国内外研究者的广泛重视。AIN陶瓷及其陶瓷复合材料性能优异,然而过高的成本限制了它的实际应用,其原因主要归结为两个方面1)氮化铝原料粉价格高;2)氮化铝陶瓷烧结成本高。要获得成本低、高性能的氮化铝陶瓷,关键技术问题在于如何合成低成本、烧结活...
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