技术编号:9744320
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在研磨蓝宝石、氮化硅、碳化硅、氧化硅、玻璃、氮化镓、砷化镓、砷化铟、磷化铟等硬脆材料的过程中,一般会使用到研磨材料和研磨用组合物。对于在研磨硬盘用玻璃基板、液晶显示面板的玻璃基板、光掩模用合成石英基板等基板的用途中使用的研磨用组合物,为了提高研磨后的基板的品质,强烈要求研磨后的基板的表面粗糙度小以及研磨后的基板上如划痕那样的表面缺陷少。另外,为了缩短研磨操作所耗费的时间,还要求基板的研磨速度(去除速度)高。发明内容本发明要解决的技术问题在于,针对现有技术的...
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