技术编号：9745536
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光学涂层由一种或多种电介质或金属薄膜构成，是各种光学器件的关键部分，在光学镜片涂层、超薄光电探测器以及太阳能电池等领域有广泛的应用前景。现有的纳米光学涂层主要是在硅片等硬质半导体基底上制备得到的，涂层为1/4波长厚度的半导体薄膜，才能实现截止波长覆盖可见光及近红外范围的应用。现有的纳米光学涂层厚度较厚，成本高，制备工艺也较复杂。发明内容本发明针对背景技术存在的缺陷，提出了。本发明在高反射率的柔性金属基板上制备半导体光学涂层，制得的光学涂层薄膜厚度较薄，且在...
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